Dù chỉ là một câu chuyện bên lề, nhưng nó minh họa rõ nét khoảng cách công nghệ giữa Trung Quốc với hãng ASML, khiến cho việc sao chép các cỗ máy quang khắc chip cao cấp khó khăn như thế nào.
Một câu chuyện đầy tính trớ trêu đang lan truyền trong giới công nghệ bán dẫn. Theo báo cáo từ The National Internet, các kỹ sư Trung Quốc đã táo bạo tháo rời một máy quang khắc DUV của ASML với hy vọng đảo ngược công nghệ. Tuy nhiên, trong quá trình nghiên cứu, họ đã làm hỏng thiết bị trị giá hàng chục triệu đô la này và buộc phải gọi chính các kỹ thuật viên ASML đến sửa chữa. Khi kiểm tra, đội ngũ ASML nhanh chóng phát hiện máy móc bị hư hại do việc tháo rời và lắp ráp lại thiếu chuyên môn.
Dù chưa được xác nhận chính thức, câu chuyện này giải thích sinh động tại sao với nguồn lực khổng lồ và đội ngũ nhân tài xuất sắc, Trung Quốc vẫn chưa thể làm chủ các máy quang khắc chip cao cấp như DUV tiên tiến và EUV mà chỉ có ASML sản xuất được. Sự việc tuy nhỏ nhưng phơi bày lý do tại sao lại có những khoảng trống công nghệ không thể lấp đầy bằng tiền bạc.
Máy sử dụng laser argon fluoride 193nm chiếu qua lớp nước đặc biệt, với bệ đỡ wafer di chuyển chính xác 2.5nm và năng suất 330 tấm wafer mỗi giờ. Mọi thành phần đều phụ thuộc vào các quy trình nhà máy được bảo mật chặt chẽ, các điểm tham chiếu nội bộ và hệ thống điều chỉnh vòng lặp kín liên tục giữa các bệ di chuyển, quang học và cảm biến.
* Lí do thứ nhất:
Khi các kỹ sư Trung Quốc tháo rời máy, họ đã vô tình phá vỡ những cân bằng tinh vi này. Chỉ một hạt bụi nhỏ rơi vào hệ thống quang học chiếu sáng của ZEISS, một sai lệch nhỏ trong bộ đo giao thoa kế, hay mất đi các điểm tham chiếu hiệu chỉnh ban đầu đều có thể khiến toàn bộ hệ thống trở nên vô dụng.
Hơn nữa, việc lắp ráp lại không chỉ đơn thuần là đặt các bộ phận về đúng vị trí, mà cần có quy trình chính xác của nhà sản xuất, phần mềm điều khiển đặc biệt và các khóa bảo mật mà chỉ ASML mới có quyền truy cập.
